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RKC理化工業(yè)主要有應用于半導體行業(yè)的產(chǎn)品
理化工業(yè)株式會社(rkc)在工業(yè)控制儀器領(lǐng)域以其獨特的科研以其的科研與開發(fā)為先導,使公司的規(guī)模不斷地發(fā)展壯大。rkc早期生產(chǎn)電子管控制器,隨后又開發(fā)出了晶體管控制器、節(jié)能型控制器等眾多產(chǎn)品。這些產(chǎn)品在相應的歷史時期中均受到了廣大用戶的歡迎與認可。rkc為適應新的市場需求,開發(fā)出了以微機為基礎(chǔ)的多功能控制器,它是中、小型一起、設(shè)備中的基本器材。rkc正在開發(fā)有銷售跨世紀的控制設(shè)備。
rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽。
rkc的控制技術(shù)早源于塑料工業(yè),而現(xiàn)在rkc的產(chǎn)品在科技設(shè)備、半導體制造業(yè)、空調(diào)、紡織工業(yè)、食品工業(yè)、汽車制造、橡膠工業(yè)、電纜電線工業(yè)等眾多領(lǐng)域中均贏得了極高的贊譽。除傳統(tǒng)單回路控制器外,rkc還開發(fā)推出了溫度、濕度、程序以及工廠整體控制的綜合控制系統(tǒng)以滿足新的市場需求。
rkc根據(jù)日益變化的市場需求,現(xiàn)已由溫度控制器擴展為綜合性控制設(shè)備。rkc推出的高科技產(chǎn)品中,引入了微處理機和主機數(shù)字接口等技術(shù),使其產(chǎn)品在工廠自動化中起到了非常重要的作用
燈退火等高速升溫控制
高速升溫時使用高速采樣的控制器和快速響應調(diào)節(jié)器
>>優(yōu)點介紹
- 用高速升溫的溫度控制可以抑制超調(diào),提高生產(chǎn)性。
典型對應機器
數(shù)字顯示控制器(過程/溫度控制器)
FZ110 / FZ400 / FZ900
- 測量精度:顯示值的±0.1%
- 取樣周期:0.05秒
- 11段5位數(shù)字顯示
- 對應前面專用通信
- 2輸入功能(FZ400/FZ900)
- 插件構(gòu)造(FZ400/FZ900)
功率調(diào)節(jié)器
THV
利用4~20mA等模擬量信號,連續(xù),精密地控制加熱器功率供給的設(shè)備。可以選擇控制電壓波形的相位控制方式,或者控制電源周期,低干擾的零交叉控制方式。
相位控制方式,有軟啟動功能可以控制浪涌電流較大的加熱器或者變壓器一次側(cè)。
擴散爐的串級溫度控制
希望溫度控制的部分和熱源之間有較大時間滯后時,采用串級溫度控制。一次控制器(主)的控制輸出,輸入給二次控制器(從)。二次控制器,利用一次控制器的輸出不斷修正溫度設(shè)定值,進行熱源溫度控制。 用1臺FZ400 / FZ900可以實現(xiàn)串級控制。
>>優(yōu)點介紹
- 可以抑制有時間滯后的控制系統(tǒng)的超調(diào)
- 一臺FZ400 / FZ900可以實現(xiàn)串級控制
典型對應機器
數(shù)字顯示控制器(過程/溫度控制器)
FZ(FZ400/FZ900)
- 測量精度:顯示值的±0.1%
- 取樣周期:0.05秒
- 11段5位數(shù)字顯示
- 對應前面專用通信
- 2輸入功能(FZ400/FZ900)
- 插件構(gòu)造(FZ400/FZ900)
単相電力調(diào)整器
THV
利用4~20mA等模擬量信號,連續(xù),精密地控制加熱器功率供給的設(shè)備。可以選擇控制電壓波形的相位控制方式,或者控制電源周期,低干擾的零交叉控制方式。相位控制方式,有軟啟動功能可以控制浪涌電流較大的加熱器或者變壓器一次側(cè)。
OLED/LCD大型燒結(jié)爐用多點溫度控制
OLED/LCD面板燒結(jié)工序中,面板大型化導致燒成爐的溫度控制點數(shù)增加。用模塊控制器可以構(gòu)筑小型多點溫度控制。
優(yōu)點介紹
- 顯示和操作集中在觸摸屏上,可以構(gòu)筑容易管理的控制系統(tǒng)
- 電源和通信線集成在連接器中能節(jié)省連接線
典型對應機器
系統(tǒng)控制器的工程設(shè)計
(觸摸屏+PLC)
- 多點溫度控制的監(jiān)視,操作集成在觸摸屏上,可以構(gòu)筑容易管理的系統(tǒng)
※可以支持包括PLC在內(nèi)整體設(shè)備的系統(tǒng)構(gòu)筑
模塊型控制器(過程/溫度控制器)
SRZ
- 測量精度:顯示值的±0.2%
- 取樣周期:0.25秒
- 1臺能控制4通道
- 對應前面專用通信
- 插件構(gòu)造
- 提供數(shù)字輸入輸出·CT輸入模塊
- 能連接各種現(xiàn)場總線的通信變換器
濕式處理站藥液的溫度,液位管理
在半導體制造的刻蝕,清洗工藝中高腐蝕性 藥液被使用。藥液的溫度,液面的液位測量時高耐蝕性的傳感器被使用
>>優(yōu)點介紹
- 可以測量腐蝕應藥液的溫度,液面的液位,液位檢測
典型對應機器
PFA包皮溫度傳感器
FR-100(鉑電阻)/ FT-100(熱電偶)
鉑電阻或者熱電偶的PFA管包覆對應藥液溫度傳感器。電線也被PFA管包覆實現(xiàn)優(yōu)良的耐蝕性。
※照片是FR-100
背壓式液位計
LE100 / LE110
- 用1根導管測量液位和輸出8點液位警報
- 導管上的附著物等不影響測量精度
- 配備比重補償功能(不需要實際液體)和一鍵式空載調(diào)整功能
- 除液位計之外,可用作夜量計和壓力計
- LE110在氛圍氣壓變動的環(huán)境也可以測量
數(shù)字顯示控制器(溫度控制器)
RS系列(RS100 / RS400)
- 測量精度:顯示值的±0.2%
- 取樣周期:0.25秒
- 插件構(gòu)造
測量燒結(jié),接著玻璃基板時的溫度分布
通過測量燒結(jié),接著時玻璃基板的溫度分布,或者粘合玻璃基板的溫度,可以核實收集溫度曲線或者獲得*適溫度
>優(yōu)點介紹
- 瞬間實時測量溫度分布,*適于收集溫度曲線
典型對應機器
粘貼型溫度傳感器
ST-50
- 粘貼在微小表面上即可容易測量溫度
- 優(yōu)良的響應性能*適合于采集溫度數(shù)據(jù)
- *適合于測量夾層溫度的前端剝出型
驗證功率模塊的散熱設(shè)計
測量半導體功率模塊實際使用時的溫度可以實現(xiàn)以零件為單位的溫度測量。可以容易測量微小零件的溫度。
>>優(yōu)點介紹
- 可以測量微小零件的溫度,驗證散熱設(shè)計。
